Описание:
Эти насосы объединяют в себе преимущества ионной откачки и сублимации титана, обеспечивая высокую скорость откачки как геттерируемых газов, так и не геттерируемых, таких как аргон и метан.
Примером такого комбинированного насоса является серия VacIon Plus 150, 300 или 500 от Agilent. Эти насосы предлагают дополнительный 8-дюймовый порт ConFlat, который может быть расположен боково или снизу. Комбинированный насос включает в себя цилиндрическую криопанель и источник титанового подложки (TSP), установленный на этом дополнительном порту.

Особенности:

• Комбинированный насос представляет собой модель с дополнительным боковым или нижним портом ConFlat размером 8².
• Вы можете выбрать элемент StarCell, диод или благородный диод, чтобы достичь наилучшей скорости откачки благородных газов (UHV/XHV).
• Насос доступен с невращающимся впускным фланцем ConFlat размером 8² и дополнительным портом ConFlat размером 8² в двусторонней или боковой конфигурации.
• Криопанель монтируется на фланце ConFlat с внешним диаметром 8² и включает фланец ConFlat с внешним диаметром 2,75² для установки источника TSP (невыпаряемого геттера).
• В насосе включен картридж TSP, предназначенный для использования с криопанелью и обеспечивающий большую площадь поверхности для сублимации титана из TSP, что защищает вакуумную систему от нежелательного покрытия.
• Насос доступен с установленными нагревателями на 120 или 230 В переменного тока и имеет выбор вводов (Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)).

Применение:
Оже-электронная спектрометрия; электронная спектроскопия для химического анализа; производство электронных трубок; масс-спектрометры; руководитель исследований и разработок в области материаловедения; ядерная физика; моделирование космического пространства; ускорители частиц; масс-спектроскопия вторичных ионов; твердотельные полупроводники.

Классификация:
VacIon Plus 150 Pump; VacIon Plus 200 Pump; VacIon Plus 300 Pump; VacIon Plus 500 Pump; VacIon Plus 800 Pump; VacIon Plus 1000 Pump.

Комбинированные ионные насосы для сублимации титана (TSP)

Вакуумные насосы и детекторы утечки / Ионные насосы

ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ И ДЕТЕКТОРЫ УТЕЧКИ

Малые ионные насосы

Cредние ионные насосы

Большие ионные насосы

Комбинированные ионные насосы для сублимации титана (TSP)

Комбинированные ионные насосы с неиспаряющимся геттером (NEG)